国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 G01(7) H01(4) C01(3)
C23(3) C09(2)
IPC小类 G01J(7)
IPC G01J005/20(2) H01L027/146(2)
发明人 ZHANG Y(2)
公开年 2021(7)
申请年 2020(4)  2021(3) 
专利权人