国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) H01(5) C01(4)
B82(2)
IPC小类 C23C(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人 CHEN Y(2)
公开年 2015(3) 2014(2)
申请年 2014(5)
专利权人