国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C23C016/26(6) H01B001/04(5) C01B032/186(2)
C01B032/20(2) C23C016/511(2) H01B001/02(2)
H01B005/14(2) H01L021/283(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2017(4)
申请年 2016(6)
专利权人

MOON J, PARK W, PARK S, JO I, HONG B, SAN MOON J, SU C I, BAE P W, BEOM P S, HUI H B, ZHENSHAN W, WONBAE P, SUBEOM P, INSU J, BYUNGHEE H