国家/地区 中国(10) 日本(8) 美国(8) 世界知识产权组织(8) 欧洲专利局(EPO)(5) 韩国(4) 德国(2) 台湾(2)
IPC部 C(21)
IPC大类 H01(21) C01(14) C23(7)
B82(5) D01(3) C08(2)
IPC小类 H01J(21)
IPC H01J009/02(21)
发明人 ZHANG X(2)
公开年 2013(3) 2021(3) 2022(3) 2001(2) 2020(2)
申请年 2020(4)  2021(3)  2009(2)  2013(2) 
专利权人