国家/地区 中国(41)
IPC部 C(41)
IPC大类 H01(41) C01(25) C23(16)
B82(11) B32(4) G01(4)
B01(3) H05(3) C02(2)
C03(2) C07(2) C12(2)
C30(2)
IPC小类 H01J(41)
IPC H01J037/20(12) H01J037/32(11) C23C016/26(10)
H01J001/304(10) H01J009/02(10) C01B031/02(8)
C01B032/186(7) H01J037/26(7) C01B031/04(6)
C01B032/194(6) B82Y040/00(5) C01B032/182(5)
B82Y030/00(4) C01B032/184(4) H01L021/02(4)
发明人 JIANG K(5) FAN S(4) LI Z(4)
ZHANG L(4) ZHANG L N(4) FAN F Y(3)
LI K(3) LIU N(3) SONG G(3)
WANG H(3) CHEN X(2) GUO C(2)
LIN X(2) LIU Y(2) LU Y(2)
公开年 2022(11) 2021(9) 2011(4) 2020(3) 2012(2) 2015(2) 2016(2) 2017(2) 2018(2) 2023(2)
申请年 2021(10)  2020(8)  2022(6)  2017(3)  2009(2)  2010(2)  2011(2)  2014(2)  2016(2) 
专利权人 UNIV TSINGHU.(7) HON HAI PREC.(5) HONGFUJIN PR.(5) UNIV QINGDAO.(3)
LAM RES CORP(2) SHUIMU BEIJI.(2) UNIV ZHEJIAN.(2)

TSUYOSHI I, HARUYASU A, KEI O, KEIICHI N, TAKAYUKI K, FUMIAKI M, JUNSO F, SHOTA K, KUMANO S, FUJITA J, MAKINO F, KATO T, NAMBA K, OHKUBO K, ASAHARA H, INOUE G