国家/地区 |
中国(10)![]() |
IPC部 |
C(10)![]() |
IPC大类 |
H01(10)
C23(5)
C01(2)
|
IPC小类 |
H01J(10)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)
H01J037/32(4)
H01J009/02(3)
C23C016/04(2) C23C016/44(2) C23C016/56(2) H01J037/20(2) H01L021/02(2) |
发明人 | WANG B(2) YIN Y(2) |
公开年 | 2021(5) 2022(5) |
申请年 |
2021(10)![]() |
专利权人 |
ZHANG X, LEI W, ZHAO Z, ZHAO N
TSUYOSHI I, HARUYASU A, KEI O, KEIICHI N, TAKAYUKI K, FUMIAKI M, JUNSO F, SHOTA K, KUMANO S, FUJITA J, MAKINO F, KATO T, NAMBA K, OHKUBO K, ASAHARA H, INOUE G
LIU H, GUAN L, WANG B, ZHANG W, XIONG Y
QIN C, LI T, WANG Q, LOU H, SHI L, LUO L, HUANG S
NARKEVICIUTE I, VARADARAJAN B N, SHARMA K, NARKEBICHUDDER I