国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 H01(10) C23(5) C01(2)
IPC小类 H01J(10)
IPC C23C016/26(5) H01J037/32(4) H01J009/02(3)
C23C016/04(2) C23C016/44(2) C23C016/56(2)
H01J037/20(2) H01L021/02(2)
发明人 WANG B(2) YIN Y(2)
公开年 2021(5) 2022(5)
申请年 2021(10)
专利权人

TSUYOSHI I, HARUYASU A, KEI O, KEIICHI N, TAKAYUKI K, FUMIAKI M, JUNSO F, SHOTA K, KUMANO S, FUJITA J, MAKINO F, KATO T, NAMBA K, OHKUBO K, ASAHARA H, INOUE G