国家/地区 中国(21)
IPC部 C(13) H(5) B(4)
IPC大类 C01(8) H01(5) B01(3)
C23(3) B82(2)
IPC小类 C01B(8) B01J(3) C23C(3)
H01L(3) B82Y(2)
IPC C01B031/04(7) B01J023/44(2) B82Y040/00(2)
C23C016/26(2) H01L027/15(2)
发明人 ZHANG X(21)
公开年 2011(21)
申请年 2011(13)  2010(8) 
专利权人 CHINESE ACAD.(3) UNIV HUNAN(3) CHINESE ACAD.(2) UNIV FUDAN(2)
UNIV NANCHAN.(2) UNIV NANJING.(2) UNIV PEKING(2)