国家/地区 美国(14) 韩国(8) 世界知识产权组织(8) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4) 台湾(4) 加拿大(3) 中国(3) 德国(2) 西班牙(2) 英国(2)
IPC部 C(18)
IPC大类 C01(18)
IPC小类 C01B(18)
IPC C01B031/00(18)
发明人 AFZALIARDAKANI A(2) CHANDRA B(2) TODORIKI H(2)
TODOROKI H(2) TULEVSKI G S(2) WU Z(2)
公开年 2013(18)
申请年 2012(8)  2011(5)  2013(5) 
专利权人 INT BUSINESS.(3) SEMICONDUCTO.(2)

TODORIKI H, YUKAWA M, SAITO Y, YAMAKAJI M, YATABE R, IKENUMA T, TODOROKI H, YUGAWA M, YONEDA Y, TSUKUDA R