| 国家/地区 |
德国(8)
|
| IPC部 |
C(7)
B(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
C01(6)
B82(3)
C23(3)
H01(3) B32(2) C09(2) |
| IPC小类 |
C01B(6)
B82Y(3)
B32B(2)
B82B(2) C23C(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B031/04(5)
C01B031/02(3)
B82B003/00(2)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2013(8)
|
| 申请年 |
2011(8)
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| 专利权人 |
BENNEWITZ R, ASLAN M, WAEHLISCH C F
AFZALIARDAKANI A, MAAROUF A, MARTYNA G J, SAENGER K, AFZALIARDAKANI A C O I
ZHONG D, CHI L, ZACHARIAS H, FUCHS H, MUELLEN K, FENG X, MULLEN K, CHII1 4 L
CLOSSENVON L S M, KADAU K
SCHREIL M, BURGHART M, KAUFMANN M
