国家/地区 德国(8)
IPC部 C(7) B(3) H(3)
IPC大类 C01(6) B82(3) C23(3)
H01(3) B32(2) C09(2)
IPC小类 C01B(6) B82Y(3) B32B(2)
B82B(2) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(5) C01B031/02(3) B82B003/00(2)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
发明人
公开年 2013(8)
申请年 2011(8)
专利权人