国家/地区 中国(10)
IPC部 C(7) H(4) B(2)
IPC大类 C01(6) H01(4) C09(3)
IPC小类 C01B(6) H01L(4) C09K(3)
IPC C01B031/04(6) C09K011/65(3) H01L021/336(3)
H01L021/28(2)
发明人 JIANG M(10)
公开年 2014(10)
申请年 2014(6)  2013(4) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(10)