| 国家/地区 | 中国(5) |
| IPC部 | C(4) |
| IPC大类 | C01(3) C23(2) |
| IPC小类 | C01B(3) C23C(2) |
| IPC |
C01B031/04(3)
C01B032/184(2)
C23C016/26(2)
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| 发明人 |
WANG Z(5)
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| 公开年 |
2015(5)
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| 申请年 | 2015(5) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)
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CAO D, CHENG X, ZHANG D, WANG Q, WANG Z, ZHENG L, YU Y, CHEN L
DI Z, XUE Z, ZHANG M, YE L, DAI J, WANG Z
CAO D, CHENG X, ZHANG D, WANG Q, WANG Z, ZHENG L, YU Y, CHEN L
DI Z, WANG G, XUE Z, ZHANG M, ZHENG X, DAI J, WANG Z
DI Z, WANG G, XUE Z, ZHANG M, ZHENG X, DAI J, WANG Z
