国家/地区 中国(5)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(2)
IPC C01B031/04(3) C01B032/184(2) C23C016/26(2)
发明人 WANG Z(5)
公开年 2015(5)
申请年 2015(5) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)