国家/地区 美国(18)
IPC部 C(18) B(14) H(8)
G(3)
IPC大类 C01(18)
IPC小类 C01B(18)
IPC C01B031/04(17) C23C016/26(13) C01B032/186(7)
C01B032/194(4) C23C014/06(4) B32B018/00(3)
B82Y040/00(3) C01B031/02(3) C01B032/182(3)
C23C016/02(3) C23C016/50(3) C30B029/02(3)
H01L029/16(3) B05D001/00(2) B32B009/00(2)
发明人
公开年 2016(18)
申请年 2015(18)
专利权人