国家/地区 德国(22)
IPC部 H(16) C(9) B(4)
G(4)
IPC大类 H01(16) C01(7) B82(3)
C23(3) G01(3)
IPC小类 H01L(9) C01B(7) H01M(6)
B82Y(3) C23C(3) G01N(2)
H01G(2)
IPC C01B031/04(5) B82Y040/00(3) H01L021/02(3)
H01L021/768(3) H01L029/16(3) H01L029/78(3)
H01L049/02(3) B82Y030/00(2) C01B031/02(2)
C01B032/18(2) C01B032/182(2) C01B032/194(2)
C23C016/26(2) C23C016/455(2) C23C016/50(2)
发明人 RUHL G(3) RUHR G(3) HUANG Q(2)
LUX S(2) OBERHUMER P(2) STIASZNY B(2)
公开年 2016(22)
申请年 2015(12)  2016(6)  2014(4) 
专利权人 BAYERISCHE M.(3) INFINEON TEC.(3)