国家/地区 日本(5)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C01(4) H01(2) H05(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(2) H05B(2)
IPC C01B031/02(4) H01L051/50(2) H05B033/02(2)
H05B033/28(2)
发明人 HASEGAWA M(3) HASEGAWA MASATAKA(2) YAMADA T(2)
公开年 2016(5)
申请年 2015(4) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(5)