国家/地区 德国(7)
IPC部 H(5) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B032/182(2) H01L021/28(2)
发明人
公开年 2018(7)
申请年 2016(7)
专利权人