| 国家/地区 |
德国(7)
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| IPC部 | H(5) C(3) |
| IPC大类 | H01(4) C01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | C01B032/182(2) H01L021/28(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2018(7)
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| 申请年 |
2016(7)
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| 专利权人 |
SCHULZE H, RUPP R, RUHL G
MINERVINI P, COSTABELLO L, MUNOZ JIMENEZ E F, NOVACEK V, VANDENBUSSCHE P, MUNOZ J E F
KUTH R, POPESCU S, TREFFER P
