国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC H01L021/02(2)
发明人 ALAZMI A S(2)
公开年 2018(7)
申请年 2017(6) 
专利权人 UNIV KING ABDULLAH SCI TECHNOLOGY(7)