国家/地区 韩国(7)
IPC部 H(5) C(4) G(3)
IPC大类 H01(5) C01(4) G03(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(4) G03F(2)
IPC C01B032/182(4) H01L029/16(3) C01B032/184(2)
H01L021/324(2) H01L027/32(2) H01L051/00(2)
H01L051/56(2)
发明人 CHO N S(2) IK L J(2) KIM T(2)
LEE J I(2) MOON J(2) PARK J(2)
公开年 2018(7)
申请年 2017(6) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(7)

KIM J Y, LEE J I, CHEON S H, CHO N S, CHO S, KIM Y H, KIM T, RYU H, AH C S, HWANG C, YEON K J, IK L J, HOON C S, SUNGCHO N, MOK C S, HAE K Y, YOUB K T, SEONG A C, SUN H C