国家/地区 日本(19) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(19)
IPC大类 C01(14) H01(9) C23(5)
B82(4) G01(4) B32(3)
B01(2) C07(2) C08(2)
C25(2)
IPC小类 C01B(14) C23C(5) B82Y(4)
H01B(4) B32B(3) H01L(3)
H01R(3) B01J(2) C08K(2)
C08L(2) C25D(2) G01N(2)
IPC C01B032/194(6) B32B009/00(3) B82Y040/00(3)
C01B032/174(3) C01B032/186(3) H01R013/03(3)
B01J035/02(2) B82Y030/00(2) C01B032/159(2)
C01B032/184(2) C01B032/198(2) C08K003/04(2)
C23C028/00(2) G01N027/12(2) H01L035/22(2)
发明人 KUBO T(6) SHIMIZU T(6) HASEGAWA M(4)
KIRIHARA K(3) MUKODA M(3) OKIKAWA Y(3)
WATANABE J(3) YE N(3) HATAKEYAMA K(2)
ISHIHARA S(2) KOTOKU H(2) MATSUSAWA Y(2)
OKADA M(2) WEI Q S(2)
公开年 2021(19)
申请年 2020(12)  2019(7) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(19)