国家/地区 美国(6) 中国(4) 日本(3) 加拿大(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C23C(7) C01B(6) B82Y(5)
B01J(2)
IPC C23C016/44(7)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(7)
申请年 2020(4)  2021(3) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)