国家/地区 美国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C23(7) C01(6) B82(5)
B01(2) B33(2)
IPC小类 C23C(7) B82Y(5) C01B(5)
B01J(2) B33Y(2)
IPC C23C016/44(7)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(7)
申请年 2021(4)  2020(3) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)