国家/地区 中国(11) 澳大利亚(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C23(17)
IPC小类 C23C(14) G01N(8) B82Y(3)
C01B(3) C23F(3) G02F(3)
H01L(3) C09D(2) G01J(2)
IPC C23C014/08(5) B82Y040/00(3) C23C014/35(3)
C23C016/26(3) B82Y015/00(2) C23C014/06(2)
C23C014/10(2) C23C014/30(2) C23C028/04(2)
C23F011/08(2) G01N027/30(2) H01L051/00(2)
发明人 WANG J(2) WANG S(2) WANG X(2)
YANG H(2)
公开年 2021(17)
申请年 2021(17)
专利权人