国家/地区 世界知识产权组织(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C014/06(3) C23C016/26(3) C01B032/15(2)
C01B032/182(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
C23C016/02(2) C23C016/505(2) H01J037/32(2)
H01L021/02(2)
发明人 NAVEH D Y(2)
公开年 2023(7)
申请年 2022(4)  2021(3) 
专利权人 2D GENERATIO.(2) UNIV BARILAN(2)