国家/地区 中国(3)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5)
IPC小类 C30B(5) C01B(3) C23C(3)
H01L(3)
IPC C30B029/02(5)
发明人
公开年 2023(5)
申请年 2021(2)  2022(2) 
专利权人