国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 | C23(5) H01(2) |
IPC小类 | C23C(5) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 |
CHEN Z(5)![]() |
公开年 | 2016(2) 2017(2) |
申请年 |
2016(5)![]() |
专利权人 | SHANGHAI INS.(2) |
YANG L, CHEN Z, XU X, ZHANG J, YIN L, WU H, LIAO W, LI Q, BECK T J
YU G, ZHANG Y, SUI Y, CHEN Z, DENG R, GE X, LIANG Y, HU S
ZHANG Y, YU G, SUI Y, CHEN Z, DENG R, GE X, LIANG Y, HU S
AN P, ZHAO L, WEI T, CHEN Z, WANG J, LI J