国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) H01(2)
IPC小类 C23C(5) H01L(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人 CHEN Z(5)
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(5)
专利权人 SHANGHAI INS.(2)