国家/地区 中国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C01(15)
IPC小类 C01B(15) C23C(15) H01L(2)
IPC C01B032/186(15)
发明人 LI Y(2) WANG X(2) ZHANG X(2)
公开年 2021(12) 2022(2)
申请年 2021(15)
专利权人