国家/地区 中国(8)
IPC部 B(8) C(8) H(4)
IPC大类 B32(8)
IPC小类 B32B(8) C23C(8) C01B(4)
B82Y(2) C23F(2) C25D(2)
C30B(2) H05K(2)
IPC C23C028/00(8)
发明人
公开年 2014(2)
申请年 2014(2) 
专利权人 UNIV SHANGHA.(2)