国家/地区 中国(16)
IPC部 C(16) B(5) H(4)
IPC大类 C23(16)
IPC小类 C23C(15) H01L(3) C01B(2)
C25D(2)
IPC C23C016/26(7) C23C014/06(3) C23C014/34(3)
C23C014/35(3) C23C014/16(2) C23C014/18(2)
C23C014/58(2) C23C016/511(2) C23C018/36(2)
C23C028/00(2) C25D009/04(2) H01L021/02(2)
发明人 WU H(16)
公开年 2017(3) 2022(3) 2014(2) 2020(2) 2023(2)
申请年 2022(3)  2013(2)  2016(2)  2017(2)  2020(2)  2021(2) 
专利权人 UNIV NANJING.(4) JIATE SEMICO.(2) SHANGHAI INS.(2) UNIV SHANGHA.(2)