国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
G03(6)![]() |
IPC小类 |
G03F(6)
C01B(2)
C23C(2)
|
IPC | G03F007/004(3) G03F007/20(2) |
发明人 | |
公开年 | 2022(6) |
申请年 |
2022(6)![]() |
专利权人 |
GU M, ZHANG Q, CHEN X, LUAN H, WAN Z
XIONG Y, DING Z, XU H, WU C, XU F
KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S
XIN Y, YI M, PANG Y, WANG J, ZOU Y