国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 G03(6)
IPC小类 G03F(6) C01B(2) C23C(2)
IPC G03F007/004(3) G03F007/20(2)
发明人
公开年 2022(6)
申请年 2022(6)
专利权人

KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S