国家/地区 中国(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 B82(9) C01(9) H01(5)
C08(3) C09(3) C23(2)
C30(2)
IPC小类 B82B(9)
IPC C01B031/04(8) B82B003/00(7) C01B031/02(6)
B82Y030/00(5) B82Y040/00(5) C01B032/182(5)
B82B001/00(4) H01L021/02(3) C01B032/194(2)
C08K003/04(2) C09K011/65(2) C23C016/26(2)
C30B029/02(2) H01L021/20(2) H01L021/336(2)
发明人
公开年 2016(5) 2015(3)
申请年 2015(9)
专利权人