国家/地区 中国(14)
IPC部 B(14)
IPC大类 C01(14) C23(14) H01(8)
B32(6) B82(5) B01(2)
C30(2) H05(2)
IPC小类 C01B(14)
IPC C23C014/06(14)
发明人
公开年 2015(4) 2013(3) 2012(2) 2021(2)
申请年 2013(3)  2014(3)  2012(2) 
专利权人

HUANG C, CHU C, CHIU S, WANG C, WEI C, CHUNG C, WU B, HUANG J, QIU S, WANG J, ZHU J, WEI J, ZHONG C, HUANG C H, CHU C W, CHIU S M, WANG C C, WEI C M, CHUNG C J, WU B H

KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M