国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)![]() |
IPC小类 |
C23C(6)![]() |
IPC |
C30B025/18(5)
C23C016/26(3)
C23C014/06(2)
C23C014/35(2) C23C016/02(2) C30B029/02(2) C30B029/40(2) H01L021/02(2) H01L021/205(2) |
发明人 |
ZHANG J(6)![]() |
公开年 | 2022(3) |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 | UNIV XIDIAN(4) |
HAO Y, MA P, WANG D, JIA Y, ZHANG J, WU H, NING J
ZHANG J, LI C, WANG X, XU P, FENG H, CHEN Z, YANG Y, WU W, ZHOU C, LUO T
HAO Y, MA P, JIAO P, WANG D, ZHANG J, FENG Q, ZHANG Y, NING J
LIU Z, PENG H, LIN L, SUN L, ZHANG J
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z