国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6) H(2)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C30B025/18(4) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C30B025/16(2) C30B028/14(2) C30B029/40(2)
发明人 FENG H(2) ZHANG J(2)
公开年 2022(6)
申请年 2021(6)
专利权人