国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)
H01(4)
C25(3)
H05(2) |
IPC小类 |
C23C(6)
C25D(3)
H01L(3)
H05K(2) |
IPC |
C23C028/00(6)![]() |
发明人 | CHEN Y(2) |
公开年 |
2021(6)![]() |
申请年 | 2021(4) 2020(2) |
专利权人 |
YU X, TIAN Z, LI M, YU D, REN Z, REN L, FU Y
LIU K, DING Z, ZHANG Z, KOU J, HUANG Z, YUE X, CHEN Y, WANG E