国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) H01(4) C25(3)
H05(2)
IPC小类 C23C(6) C25D(3) H01L(3)
H05K(2)
IPC C23C028/00(6)
发明人 CHEN Y(2)
公开年 2021(6)
申请年 2021(4)  2020(2) 
专利权人