国家/地区 德国(7)
IPC部 H(6) C(5) B(2)
G(2)
IPC大类 C01(5) H01(5) B82(2)
C23(2) G01(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(5) B82Y(2)
C23C(2) G01R(2)
IPC C01B032/186(5) H01L029/16(4) C01B032/182(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/194(2)
C23C016/26(2) G01R015/20(2) G01R033/00(2)
G01R033/07(2)
发明人 GUINEY I(4) THOMAS S(4) DIXON S(2)
GLASS H(2) TAYLOR M(2) TYLER M(2)
WALLIS R(2)
公开年 2021(4) 2022(3)
申请年 2020(2)  2021(2)  2022(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(7)