国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) H01(5) C01(4)
B82(3) B32(2) C07(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) H01L(4)
B82Y(3) B32B(2) C07C(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2013(3) 2015(2)
申请年 2013(5)
专利权人