国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)
H01(5)
C01(4)
B82(3) B32(2) C07(2) |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(4)
H01L(4)
B82Y(3) B32B(2) C07C(2) |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) 2015(2) |
申请年 |
2013(5)![]() |
专利权人 |
RUSSO S, CRACIUN M, BOINTON T H
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
OEZYILMAZ B, NI G X, ZHENG Y, OZYILMAZ B, OEZYILMAZ B
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T