| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(7)
|
| IPC部 |
B(7)
C(7)
H(6)
|
| IPC大类 |
C23(7)
|
| IPC小类 |
C23C(7)
B05D(6)
B82Y(6)
C01B(5) H01L(4) B01J(2) B32B(2) H01B(2) |
| IPC |
B82Y030/00(5)
C01B031/02(5)
B82Y040/00(4)
C01B031/04(4) C01B032/186(3) C23C016/26(3) B05D003/02(2) B05D007/14(2) C01B032/184(2) C23C016/56(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2011(5) 2010(2) |
| 申请年 |
2010(7)
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| 专利权人 |
VOUTILAINEN M, ROUVALA M, PASANEN P
BAE S K, CHOI J, HONG B H, KANG J, KIM H K, KIM Y J, YAN J K
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
FUJITA JUNICHI, FUJITA J I, FUJITA J
