国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)
C23(5)
B01(2)
B32(2) C30(2) H01(2) |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/02(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2020(4) |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L