国家/地区 法国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) B05D(3)
B82Y(3) H01L(3) B01J(2)
IPC C23C016/56(5)
发明人 ZENASNI A(2)
公开年 2010(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 COMMISSARIAT.(2)