国家/地区 韩国(33)
IPC部 B(17) C(17) H(13)
G(6)
IPC大类 C01(16) H01(13) B01(11)
B82(9) G01(4) C23(3)
C04(2)
IPC小类 C01B(16) B01J(9) B82B(8)
H01L(8) G01N(4) B01D(3)
B82Y(3) C23C(3) C04B(2)
H01B(2)
IPC C01B031/02(16) B82B003/00(7) B82B001/00(5)
C01B031/04(5) B01J019/12(4) B01J019/10(3)
B01J023/755(2) C23C016/06(2) H01L029/78(2)
发明人 JEON S(5) DOO K I(4) OH I K(4)
CHOI K C(3) JIN C S(3) OH I(3)
CHO B J(2) HO S S(2) HONG S(2)
HWANG J O(2) KIM B H(2) KIM H(2)
KIM H J(2) KIM K J(2) KIM S O(2)
公开年 2013(18) 2014(12) 2012(3)
申请年 2012(33)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(33)