国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) H01(4) C23(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(3) C01B021/064(2) C01B025/00(2)
C01B032/186(2) C23C016/505(2) C23C016/511(2)
发明人 LEE C(5)
公开年 2021(2) 2022(2)
申请年 2021(5)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4)