国家/地区 台湾(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) B32B(3)
H01L(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2015(6)
专利权人