国家/地区 |
台湾(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)![]() |
IPC小类 |
C23C(6)
C01B(5)
B32B(3)
H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(5) |
申请年 |
2015(6)![]() |
专利权人 |
FARQUHAR J J, SEAH C M, CHOON M S
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
HSIEH Y, HOFMANN M, CHIU Y
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K
VISSER R J, JEONG S, DODABALAPUR A