国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6) B82(5) C01(5)
H01(4) B01(2) B05(2)
B32(2) C30(2)
IPC小类 C23C(6) B82Y(5) C01B(5)
H01L(3) B01J(2) B05D(2)
B32B(2) C30B(2) H01B(2)
IPC C23C016/02(6)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2012(6)
专利权人

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E

KIM K H, MAENG K S, PARK C W, CHA S W, HONG S Y, HONG B H, JUNG M H, KIM K E, PARK S B, BEOM P S, EUN K G, HUI H B, HUI J M, HYEONG K G, SEOP M G, U P C, WON C S, YEON H S