国家/地区 美国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C30(10) C01(8) H01(5)
B82(4) B01(3) C23(3)
B05(2) B32(2)
IPC小类 C30B(10)
IPC C01B031/04(8) C30B029/02(7) B82Y040/00(4)
C01B031/02(3) C30B025/02(3) C30B025/18(3)
B82Y030/00(2) C30B029/64(2) H01L029/786(2)
发明人
公开年 2014(10)
申请年 2013(10)
专利权人