国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C30(5) B82(4) C01(4)
C23(2) G01(2) H01(2)
IPC小类 C30B(5)
IPC B82Y040/00(4) B82Y030/00(3) C01B032/184(3)
C30B029/02(3) C01B032/182(2) C30B001/02(2)
C30B029/64(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(4)
申请年 2017(5)
专利权人