国家/地区 美国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C30B029/02(4) C01B032/186(2) C23C016/04(2)
C30B029/40(2) C30B029/60(2)
发明人
公开年 2021(7)
申请年 2020(5)  2021(2) 
专利权人