国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C30(6) H01(6) C01(5)
C23(3)
IPC小类 C30B(6)
IPC C30B029/02(5) C01B031/04(4) C23C016/26(3)
C30B025/18(3) H01L021/02(3) C01B031/02(2)
C01B032/182(2) C01B032/188(2) C23C016/44(2)
C30B001/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2015(6)
申请年 2014(4) 
专利权人