国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C01B031/04(4)
C23C016/26(4) C30B025/18(3) H01L021/02(3)
H01L029/16(3) B32B009/00(2) B32B009/04(2)
C01B032/186(2) C23C016/34(2) H01L021/205(2)
H01L029/06(2) H01L029/778(2)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2013(3)  2012(2) 
专利权人