国家/地区 |
美国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B82(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)![]() |
IPC |
B82Y030/00(4)
B82Y040/00(4)
C01B031/04(4)
C23C016/26(4) C30B025/18(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3) B32B009/00(2) B32B009/04(2) C01B032/186(2) C23C016/34(2) H01L021/205(2) H01L029/06(2) H01L029/778(2) |
发明人 | |
公开年 |
2013(5)![]() |
申请年 | 2013(3) 2012(2) |
专利权人 |
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
GROBERT N, MURDOCK A T, KOOS A A
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S