国家/地区 美国(8)
IPC部 H(6) C(5) B(2)
IPC大类 H01(6) C01(4) C23(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(4) C23C(2)
IPC C01B031/04(4) H01L021/02(4) H01L029/66(3)
C23C016/26(2) H01L021/20(2) H01L029/06(2)
H01L029/16(2)
发明人 DAVIS M A(8)
公开年 2014(8)
申请年 2013(4)  2014(4) 
专利权人 SOLAN LLC(8)