国家/地区 韩国(5)
IPC部 B(4) C(4) H(3)
IPC大类 B82(4) C01(4) H01(3)
C23(2)
IPC小类 C01B(4) B82Y(3) C23C(2)
H01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(4) C01B031/02(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/26(2)
发明人 WON D(3) WON D K(3) YUAN D(3)
AHN J(2) AHN J H(2) BAE S(2)
BAE S K(2) CHO S(2) HONG B(2)
HONG B H(2) LEE Y(2) NA D(2)
NA D H(2) SONG Y I(2) YOON J(2)
公开年 2012(4)
申请年 2011(5)
专利权人 HANWHA TECHWIN CO LTD(5)