国家/地区 世界知识产权组织(20)
IPC部 C(20)
IPC大类 C01(20) H01(11) C09(8)
C04(4) C08(4) B01(3)
B32(2) B82(2)
IPC小类 C01B(20)
IPC C01B032/21(20)
发明人 KURIKI K(2) LIU X(2) TAKAHASHI T(2)
YAMAZAKI S(2)
公开年 2021(12) 2022(7)
申请年 2021(20)
专利权人 MITSUBISHI M.(2) SEMICONDUCTO.(2)